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用于整合在机床及半导体光微影系统中的干涉位移传感器

     一种干涉仪(10),用于实时量测第一机器部分与第二机器部分间之绝对距离及/或相对位移,包括量测单元(20)及反射器单元(40),其中该量测单元(20)包括带至少一由导热材料构成之壁部的壳体(21),其中在该壳体(21)中设有多个量测组件,其中该等量测组件包括:雷射源(22)、珀耳帖组件(24)及数字控制装置(23),其中该等量测组件热耦合在该壳体(21)之由导热材料构成之该壁部上。


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